Ionenstrahlzerstäuben – Abscheidung dünner Schichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften

Dünne Schichten unterschiedlichster Materialien mit Schichtdicken im Bereich weniger Nanometer spielen eine zentrale Rolle in einer Vielzahl von technologischen Anwendungen, beispielsweise in der Optik, Photovoltaik oder Mikroelektronik. Die technologischen Anforderungen beim Herstellungsprozess steigen stetig und demzufolge auch die Anforderungen bezüglich der Schichteigenschaften und deren gezielte Variation zur Anpassung an unterschiedlichste Anwendungen. Gerade Letzteres ist eine große Herausforderung und in der Regel nur durch die Verwendung entsprechender, meist mehrerer verschiedener Abscheideverfahren umsetzbar.

Ein gängiges und seit mehreren Jahrzehnten auch kommerziell genutztes Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten ist das Ionenstrahlzerstäuben. Hierbei wird ein Target, welches das Schichtmaterial darstellt, mit Ionen beschossen, so dass Targetteilchen abgetragen werden, was als Zerstäuben bezeichnet wird, die sich dann auf einem Substrat als Schicht abscheiden. Trotz der vielfältigen Anwendung, fehlten bisher umfassende systematische Untersuchungen zum Prozess, die Aufschluss zu den Zusammenhängen zwischen Prozessparametern, Teilcheneigenschaften und Schichteigenschaften geben. Wissenschaftler des IOM haben sich erstmals mit diesen Fragestellungen beschäftigt und dabei erstaunliche Erkenntnisse gewonnen. So werden die Teilchen- und die Schichteigenschaften im Wesentlichen durch die Wahl der Abscheidegeometrie und der Ionensorte bestimmt. Durch geeignete Wahl dieser Parameter können Schichteigenschaften über einen großen Variationsbereich gezielt eingestellt werden, wie etwa strukturelle Eigenschaften, Oberflächenrauigkeit, Zusammensetzung, Massendichte, Schichtspannung, optischer Brechungsindex oder elektrische Leitfähigkeit.

Die am IOM gewonnenen Erkenntnisse zum Prozess des Ionenstrahlzerstäubens sind von großer technologischer Relevanz, da diese einerseits zum grundlegenden Verständnis beitragen und zum anderen es nunmehr möglich ist, das volle Potential der Abscheidemethode zu nutzen. Die Möglichkeit, mit einem einzelnem Abscheideverfahren einen sehr großen Anwendungsbereich mit variablen Anforderungen abzudecken, ist dabei von besonderer Bedeutung.

Übersichtsartikel:

C. Bundesmann und H. Neumann
Tutorial: The Systematics of Ion Beam Sputtering for Deposition of Thin Films with Tailored Properties
Appl. Phys. 124 (2018) 231102.
DOI: 10.1063/1.5054046

Kurzmitteilung (Invitation from AIP SciLight)

Chris Patrick
Ion beam sputter deposition allows tailoring of thin film properties
Scilight 2018 (2018) 510013.
DOI: 10.1063/1.5086197  (Free Access)

 

Originalmeldung direkt auf PresseBox lesen
Mehr von Firma PresseBox

Testurteil: sehr gut – der HSM SECURIO AF100 im Redaktionstest von „Das Büro“

Die Redaktion von "Das Büro" hat das Modell mit automatischem Papiereinzug getestet. Gerrit Krämer, Redakteur von Das Büro berichtet.

Durch seine kompakten Abmessungen von 37,5 cm Breite, 26 cm Tiefe und 62 cm Höhe sowie sein geringes Leergewicht von nur 7 kg ist der Aktenvernichter relativ unproblematisch an den jeweiligen Einsatzort zu befördern. Das Volumen des Schnittgutbehälters beträgt 20 Liter.

Inbetriebnahme

Zwischen dem Auspacken des Geräts und der ersten Inbetriebnahme haben bei uns in der Redaktion nur wenige Augenblicke gelegen. Einfach den im Gehäuseoberteil verbauten Schneidkopf auf den Schnittgutbehälter setzen, Autofeedablage montieren, Netzstecker auf der Rückseite des Aktenvernichters einstecken, das andere Ende in die Steckdose und den Netzschalter auf „I“ schalten. Das war‘s schon.

Die Bedienung des Aktenvernichters ist ebenfalls denkbar einfach. Auf seiner Oberseite befinden sich zwei gut sichtbare Tasten. Eine zum Starten und Stoppen des automatischen Papiereinzugs, eine für den Auswurf von Dokumenten bei Papierstau, die „Reversiertaste R“.

Aufgabengebiet

Die Kernkompetenz eines Aktenvernichters liegt im zuverlässigen Zerkleinern von Dokumenten. Und hier gab sich der HSM SECURIO AF100 bei uns keine Blöße. Die Start-Stopp-Automatik startet das Schneidwerk automatisch, sobald Papier in die manuelle Zuführöffnung geschoben wird. Papier wird im Partikelschnitt zu 4 mm breiten und 25 mm langen Teilchen geschreddert, was der Sicherheitsstufe P-4 entspricht. Der manuelle Einzug schafft maximal sechs bis sieben Blätter à 80 g/m2 auf einmal, ab dem achten Blatt ist der Stapel zu dick für die Zuführöffnung. Auch das Vernichten von gehefteten und mit Büroklammern versehenen Blätterstapeln funktionierte über den manuellen Einzug problemlos. Die Autofeedfunktion ist für maximal 100 Blatt ausgelegt. Während des Autofeedbetriebs konnten wir parallel auch den manuellen Einzug ohne Einschränkungen nutzen. Nicht ganz so praktisch ist, dass dem Autofeeder keine Büroklammern oder geheftete Blätter zugeführt werden dürfen, da sonst das Gerät beschädigt werden könnte. Hier ist beim Einlegen von Dokumenten Vorsicht geboten.

Wurde dem Schredder versehentlich ein noch benötigtes Dokument zugeführt, ließ sich der Zerkleinerungsvorgang jederzeit mit der Bedientaste abbrechen. Das Schneidwerk stoppte sofort, sobald wir die Taste drückten. Durch ein längeres Drücken der Reversiertaste, und mit etwas Kraftaufwand, ließen sich die zugeführten Dokumente wieder herausziehen.

Unser Fazit

Der HSM SECURIO AF100 verbindet kompakte Maße mit guter Leistung. Er ist leicht zu transportieren und kann somit flexibel an verschiedenen Büroarbeitsplätzen benutzt werden. Moderate Lautstärke beim Vernichten und 0 Watt Stromverbrauch im Stand-by-Modus (Herstellerangabe) sind weitere Pluspunkte des Schredders.

Originalmeldung direkt auf PresseBox lesen
Mehr von Firma PresseBox